关于 Dektak Pro

Dektak 探针式轮廓仪广泛应用于微电子、半导体、显示、太阳能、医疗和材料科学市场，是全球数百个生产、研究和故障分析中心必不可少的精密计量仪器。Dektak Pro™ 以其多功能，使用的便捷性和无与伦比的精度在薄膜厚度、台阶高度、应力、表面粗糙度和晶圆翘曲测量方面广受赞许。第十一代Dektak®系统，具有4Å重复性的卓越表现，并提供200毫米平台选项，在科研以及工业领域中可以为材料的表面形貌提供各种分析。Dektak Pro在表面测量方面设立了新的标杆，是尖端微电子技术、薄膜与涂层和生命科学应用的理想选择。

Dektak Pro可提供：

•       行业内领先的测量和分析功能，确保每次都能获得准确、严谨的数据
•       无与伦比的多功能性和便捷性，精简的软件和简便的探针更换
•       通过直驱扫描平台和软件进步，加速获得结果的时间

在探针式轮廓仪测量中，探针针尖沿表面移动，获得沿轨迹每个点的高度信息，从而实现高分辨率的表面形貌分析。探针式轮廓仪测量因其高精度和低成本而广受认可，最近的技术进步进一步提高了速度和多功能性，以满足尖端工程应用不断变化的需求。

Dektak Pro 满足研发、工艺开发以及当前和未来质量保证/质量控制（QA/QC）的需求，适用于多种工业和研究应用，包括：

微电子

   l 监测沉积和刻蚀过程

   l 测量器件和传感器高度

   l 评估沟槽深度 

薄膜与涂层

   l 验证眼镜上的UV/硬化涂层

   l 优化水龙头/配件上的装饰涂层

   l 分析油漆或墨水涂层厚度

生命科学

   l 分析生物材料的厚度

   l 评估生物传感器的表面形貌

   l 表征微流体通道

 Dektak Pro主要技术参数