服务热线:X射线倒易空间图谱和光学散射测量在Fin结构中对应力和间距的测量应用
2025-09-10
高分辨率衍射的RSM图对于Si及SiGe/Si Fin结构的Fin间距及间距漂移都相当敏感。RSM图像亦可得到SiGe Fin的应力状态，本文所述的样品观察到了沿着Fin宽度方向上的部分弛豫。我们也注意到了RSM表征与关键尺寸小角X射线散射 (CD-SAXS) 表征的不同。RSM是在单晶结构的周期阵列上的布拉格衍射峰附近的倒易空间区域进行的。反射模式的CD-SAXS可以在掠入射或透射几何下进行，并可观察到非单晶材料的光栅状衍射峰。我们也指出了求解单轴应变SiGe Fin结构的介电常数以开发散射测量模型的必要性。此外，我们也报告了各向异性系数 (α，β及γ) 可用作确定光栅结构各向异性的指标。
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Nature: 氮掺杂单原子层非晶碳可控合成
2025-02-20
布鲁克原子力显微镜拥有除了基本的成像模式之外的一系列电学和力学高级表征功能，如EFM、KPFM、SCM、C-AFM和SECM等，可对纳米电学进行深入研究，如半导体载流子分布、金属和半导体的功函数计算、电阻率分布等。
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BRUKER原子力显微镜及原子力显微镜探针的应用和发展
2023-08-02
BRUKER原子力显微镜是一种先进的显微镜技术，可实现对材料和生物样品的高分辨率表征。本文将介绍BRUKER原子力显微镜的应用领域和技术进展。